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①潔凈廠房是能量消耗大戶,它的能量消耗包括潔凈室中的生產(chǎn)設(shè)備用電、用熱、用冷,凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電、耗熱和冷負(fù)荷,冷凍機組的耗電,排氣處理裝置的耗電、耗熱,各種高純物質(zhì)的制取、輸送耗電、耗熱和冷負(fù)荷,各種動力公用設(shè)施的用電、耗熱、用冷以區(qū)照明用電等。同樣面積下潔凈室的能量消耗是一股寫字樓的 10倍,甚至更大。電子工業(yè)潔凈廠房有的需要大空問、大面積、大體量。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,為達(dá)到電子產(chǎn)品生產(chǎn)的規(guī)?;?、高可靠性能要求,常常采用連續(xù)生產(chǎn)的多工序集成的大型精密生產(chǎn)設(shè)備,為此需布置在建筑面積大、潔凈生產(chǎn)區(qū)與上下技術(shù)夾層“貫通,的大空間和組合式的大體量的潔凈廠房。
②常常在電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)設(shè)置相應(yīng)的輸送管道及其必需的排氣處理設(shè)施,這些排氣處理設(shè)施既消耗能量,又會增大潔凈室的送風(fēng)量。電子產(chǎn)品潔凈廠房能量消耗大,為滿足潔凈生產(chǎn)環(huán)境所必需的空氣凈化設(shè)施包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、供冷供熱系統(tǒng)均大量耗能,若空氣潔凈度等級要求嚴(yán)格時,由于潔凈送風(fēng)量和新風(fēng)量都較大,所以能量消耗較大,且全年幾乎每天晝夜連續(xù)運行
③各種耗能設(shè)施使用的連續(xù)性。為確保各類潔凈室的空氣潔海度等級一致、室內(nèi)各種功能參數(shù)的穩(wěn)定以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要,許多潔凈室都采用連線運轉(zhuǎn)的方式,通常是晝夜 24h連續(xù)運行。由于潔凈室連續(xù)運行,要求供電、供冷、供熱等均需按潔凈室內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或生產(chǎn)計劃的安排進(jìn)行調(diào)度,及時供應(yīng)各種能源。在各類潔凈室的能量消耗中,除產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備及與產(chǎn)品品種關(guān)系密切的冷卻水、高純物質(zhì)、化學(xué)品和特種氣體等的能量供應(yīng)隨產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝變化外,在潔凈室的能量消耗總量中占有較大比例的是制冷機、凈化空調(diào)系統(tǒng)的電能、冷(熱)能消耗。
④ 依據(jù)潔凈廠房的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和環(huán)境控制要求特點,無論是在冬季、過渡季還是在夏季,對溫度低于 60°的所謂 “低位熱能”都有需求。例如凈化空調(diào)系統(tǒng)在冬季、過渡季要求供應(yīng)不同溫度的熱水對室外新風(fēng)加熱,只是不同季節(jié)的供熱量是不同的。在電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房中大多使用大量的純水,集成電路芯片制造、TFT-LCD 面板制造過程的純水小時用量達(dá)數(shù)百噸,為獲得所需品質(zhì)的純水,通常都采用反滲透(RO)技術(shù);RO裝置要求水溫保持在25°C左右,常常需要供應(yīng)一定溫度的熱水。對一些企業(yè)的調(diào)研表明,近年來正逐漸利用潔凈廠房的低位熱能如制冷用冷水機組的冷凝熱提供 40°C左右的低溫?zé)崴?,替代原來的采用低壓蒸汽或高溫?zé)崴M(jìn)行加熱/預(yù)熱,取得了明顯的節(jié)能效益、經(jīng)濟(jì)效益。因此,潔凈廠房既有低位熱源的 “資源”,又有低位熱能的需求,這是潔凈廠房融合利用低位熱能降低能耗的重要特征之一。
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